国家知识产权局信息显示,江苏晋誉达半导体股份有限公司申请一项名为“一种定位载台”的专利,公开号CN121386306A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种定位载台,包括基板,基板上设有中心孔,位于中心孔外周的基板上设有多个吸附结构,位于吸附结构外围的基板上设有呈直角分布的定位轮,与定位轮相对的基板上设有呈直角分布的驱动机构;基板上还设有多个与中心孔连通的容纳槽,每个容纳槽内均设有平面校准机构。实现了对光刻板定位和晶圆所在位置平行度调整的集成,且对光刻板的定位速度快、精度高;同时,有效保证了晶圆和光刻板的平行度,为高质量的进行曝光、光刻等工艺奠定了基础;而且,布置紧凑、集成度高,体积小。
天眼查资料显示,江苏晋誉达半导体股份有限公司,成立于2014年,位于苏州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏晋誉达半导体股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息108条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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