国家知识产权局信息显示,上海中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“一种晶圆SiO₂背膜残胶的去除方法”的专利,公开号CN121398485A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆SiO₂背膜残胶的去除方法,涉及计算机技术领域,一种晶圆SiO₂背膜残胶的去除方法包括以下步骤:步骤一:残胶晶圆筛选;步骤二:清洗液制备;步骤三:残胶清洗处理;步骤四:清洗后漂洗;步骤五:干燥与良品筛选。本发明通过构建初步视觉扫描和重点区域复核的双重残胶筛选模式,搭配高分辨率工业检测相机、环形补光光源及20‑40倍光学放大镜复核,结合Class100无尘操作环境,将待处理晶圆残胶筛选准确率提升至不低于99%,有效解决了传统筛选中易出现的误判、漏判问题,从源头确保后续残胶处理对象精准,避免无效加工损耗。
天眼查资料显示,上海中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本48000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息271条,此外企业还拥有行政许可77个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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