国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司申请一项名为“一种研磨系统、设备及晶圆清洁方法”的专利,公开号CN121374401A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请公开一种研磨系统、设备及晶圆清洁方法,所述研磨系统包括第一研磨装置、第二研磨装置以及预清洁装置,所述第一研磨装置用于对晶圆进行第一研磨,所述第二研磨装置用于对晶圆进行第二研磨,预清洁装置用于在晶圆完成第一研磨后及开始所述第二研磨前,对所述晶圆进行预清洁。所述研磨系统不仅可以降低研磨后晶圆表面干涸所导致的污染物残留和划伤可能性,还可以缩短清洗系统的清洁时间,提升研磨设备的整机产能。
天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目56次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息55条,此外企业还拥有行政许可182个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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