国家知识产权局信息显示,深圳市德瑞茵精密科技有限公司取得一项名为“一种晶圆测试用吸附装置及晶圆测试系统”的专利,授权公告号CN223844271U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆测试用吸附装置及晶圆测试系统,包括升降组件、支撑组件、气路组件以及平台组件,其特征在于:所述平台组件包括真空槽底板(10)、柔性密封件固定环(11)、柔性密封件(12)和密封槽(23);所述密封槽(23)设置在所述真空槽底板(10)对应于晶圆周缘的位置处,所述柔性密封件固定环(11)与所述柔性密封件(12)设置在所述密封槽(23)内,当晶圆放置后,所述气路组件将晶圆与所述真空槽底板(10)之间形成的空间抽真空,所述柔性密封件(12)完整支撑所述晶圆吸附于所述真空槽底板(10)的表面,以使晶圆克服大翘曲,提高平整度。保证了晶圆平整性的同时,也保证了后续晶圆测试操作的执行以及相应测试结果的准确性。
天眼查资料显示,深圳市德瑞茵精密科技有限公司,成立于2011年,位于深圳市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市德瑞茵精密科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目31次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息53条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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