国家知识产权局信息显示,宁波南大光电材料有限公司申请一项名为“一种底部抗反射涂层树脂、制备方法及用途”的专利,公开号CN121379273A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,提供了一种底部抗反射涂层树脂、制备方法及用途。所述制备方法包括:取不同沸点的多种溶剂混合,获得混合溶剂;将苯乙烯类单体、含羟基的丙烯酸类单体和含醚键的丙烯酸类单体加入混合溶剂中混合均匀,得到预聚液;在预聚液中加入引发剂,加热回流进行自由基聚合反应,得到反应液;将反应液进行沉淀处理,分离出沉淀物即获得所述底部抗反射涂层树脂。通过该制备方法可以获得的底部抗反射涂层树脂黏附性好、分子量分布窄,用于193nm深紫外光刻胶制备,有效改善了光刻胶的图案分辨率和边缘粗糙度。
天眼查资料显示,宁波南大光电材料有限公司,成立于2018年,位于宁波市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36733.19万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波南大光电材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目34次,专利信息149条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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