国家知识产权局信息显示,珠海格力电子元器件有限公司申请一项名为“晶圆表面残胶的去除方法和晶圆”的专利,公开号CN121398483A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请提供了一种晶圆表面残胶的去除方法和晶圆,去除方法包括:采用至少一种清洗工艺对待处理晶圆的正面残胶进行去除,得到第一晶圆,清洗工艺包括激光清洗工艺和超声波联合臭氧清洗工艺;采用包括超临界二氧化碳的溶剂去除第一晶圆的正面的残留物,残留物为正面残胶在第一晶圆上的残留物质。激光清洗和超声波联合臭氧清洗加速了残留物的分解和去除。再采用包括超临界二氧化碳的溶剂去除第一晶圆的正面的残留物,包括超临界二氧化碳的溶剂具有较高的干燥效率,还能够溶解清洗后残留的低分子量有机物碎片,确保晶圆表面完全干燥且无残留,进而解决了现有技术中晶圆表面上的胶膜难以有效去除的技术问题。
天眼查资料显示,珠海格力电子元器件有限公司,成立于2022年,位于珠海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,珠海格力电子元器件有限公司参与招投标项目30次,专利信息223条,此外企业还拥有行政许可107个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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