国家知识产权局信息显示,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“硅片CMP抛光与片盒在线清洗集成系统及污染阻断方法”的专利,公开号CN121374396A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明涉及硅片CMP抛光与片盒在线清洗集成系统及污染阻断方法技术领域,公开了一硅片CMP抛光与片盒在线清洗集成系统及污染阻断方法,旨在解决现有半导体制造中片盒二次污染风险高、生产效率受限及设备集成度不足等难题。该系统及方法其特征在于,提供一种集成系统,包括:硅片抛光设备主体、第一硅片料口、第二硅片料口、集成式片盒清洗单元、闭环式片盒传送机构以及系统控制单元;所述集成式片盒清洗单元包括片盒超声清洗子单元、片盒慢提拉机构以及片盒热风烘干子单元。通过上述方案,本申请可有效阻断污染,显著提升硅片洁净度与生产效率,并优化空间布局,提升良率及可靠性。
天眼查资料显示,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司,成立于2019年,位于铜陵市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息168条,此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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