国家知识产权局信息显示，矽品精密工业股份有限公司取得一项名为“蚀刻设备”的专利，授权公告号CN223844225U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，一种蚀刻设备，主要利用连接蚀刻机台及换气装置的感测装置，以于特定时间内感测到预定数量的待蚀刻件进入该蚀刻机台时，自动启动该换气装置，亦或于特定时间内感测到已无待蚀刻件进入该蚀刻机台时，自动关闭该换气装置，以维持蚀刻机台内蚀刻药水浓度。

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作者：情报员