国家知识产权局信息显示,正派科技(宁波)有限公司申请一项名为“激光退火工艺的监控方法及监控晶圆”的专利,公开号CN121419580A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供了一种激光退火工艺的监控方法及监控晶圆,包括:提供P型硅晶圆,对P型硅晶圆的表面执行离子注入工艺形成N型轻掺杂层;在N型轻掺杂层上形成金属层;执行激光退火工艺,以在离子注入层和金属层的界面反应形成金属合金层;去除未反应的金属层,以制备获得监控晶圆;测量监控晶圆中金属合金层的方阻,测量时P型硅晶圆与N型轻掺杂区之间形成PN结且PN结反向偏置,以监控激光退火工艺的稳定性。本发明实现定量监控激光退火工艺的稳定性,且提高监控精度。

天眼查资料显示,正派科技(宁波)有限公司,成立于2024年,位于宁波市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,正派科技(宁波)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员