国家知识产权局信息显示,合肥孚烜自动化科技有限公司申请一项名为“一种晶圆分选装置”的专利,公开号CN121402322A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,具体为一种晶圆分选装置,包括包括支撑台、分选组件、检测台和晶圆检测组件;检测台安装在支撑台内,晶圆检测组件安装在检测台内用于晶圆的检测,分选组件安装在支撑台上用于分选出不合格的晶圆;还包括:支撑机构,其安装在检测台上;清洁机构,其安装在检测台上,且随着支撑机构移动对支撑杆进行清洁和防护;支撑机构包括支撑组件、升降组件、内推组件、外拉组件、升降部和支撑部;升降部连接在检测台内;本发明实现了在晶圆检测的过程中对晶圆进行支撑,避免晶圆因自身重量下坠形变,降低了半导体生产制造过程中次品率。
天眼查资料显示,合肥孚烜自动化科技有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1177.0269万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥孚烜自动化科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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