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（来源：新华日报）

□ 本报记者 陈 娴

如何在动辄数万平方米、工序上千道的半导体晶圆厂里，让数十万片晶圆在不同设备间精准、高效、无损地流转？苏州新施诺半导体设备有限公司的自动物料搬运系统（AMHS）给出答案。

走进新施诺的测试线，天花板轨道纵横，被称为“天车”的空中悬挂式无人搬送车悄无声息地穿梭其中。“这套系统就像是晶圆厂里的‘智能高速公路’。”新施诺总经理王宏玉介绍，系统由硬件设备和自主研发的软件系统共同组成，为晶圆厂提供整体解决方案，不仅摆脱了对进口设备的依赖，更成为12英寸先进晶圆厂不可或缺的关键基础设施。已在多家行业头部客户的产线稳定运行。

随着半导体制造工艺的演进，人工搬运在效率、洁净度与防震方面早已力不从心。新施诺AMHS成功实现整体技术的自主可控，完成从初代产品到规模化交付的跨越。目前其迭代至第六代天车系统，可提供整厂全栈解决方案：搬运重复精度达±0.5毫米，振动峰值控制在0.5G以下，关键取放设有多重防护；天车直线最高速度每秒5.3米，抓放动作仅需数秒，即使长距离跨区跨层搬运，效率与稳定性也得以保证。

比硬件更关键的是“大脑”。新施诺自主开发的调度软件，能处理每日数十万次搬运任务，通过算法规避拥堵、优化路径，实现物料全程可追溯、数据实时可视化，让生产调度变得更加“聪明”和“灵活”。其模拟仿真调度量已超1000台，压力测试达70万次/天。

新施诺总经理王宏玉说道：“我们将持续深耕半导体领域，通过技术创新不断提升国产化水平，助力产业向高效、智能迈进。”