国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“气体分配装置及分配方法、半导体器件加工设备”的专利,公开号CN121439662A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供了一种气体分配装置,包括第一管道、至少一条第二管道和控制器。该第一管道连接气源,并设有压力探测器。该至少一条第二管道分别连接一个处理站,并分别设置有温度调节机构。该控制器连接压力探测器和温度调节机构,并被配置为,根据压力探测器采集的实际气压与目标气压的气压差异,调节温度调节机构的输出功率,以对气压差异进行温度补偿。
天眼查资料显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息461条,此外企业还拥有行政许可16个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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