国家知识产权局信息显示,北京晶芯微科技有限公司申请一项名为“具有布拉格反射结构的微机械谐振器及其制备方法”的专利,公开号CN121441254A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种具有布拉格反射结构的微机械谐振器及其制备方法,包括:衬底,以及设于衬底上依次设置的埋氧层和器件层;所述衬底上侧设有凹槽,所述器件层和设于凹槽上的埋氧层形成空腔;所述器件层上表面的两侧均设有多层弧形凹槽;所述弧形凹槽内可选的设置有填充材料,形成声学布拉格反射结构;所述器件层上方设有顶层介电质,所述顶层介电层上设有上电极通孔,所述通孔内设有金属焊盘;主要技术方案和效果:利用填充材料和器件层材料横向周期排布形成布拉格反射结构,增强振动能量的反射,抑制谐振振子振动能量向衬底传播,从而降低谐振器的锚点损耗,提高谐振器的品质因数。

天眼查资料显示,北京晶芯微科技有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,北京晶芯微科技有限公司专利信息4条,此外企业还拥有行政许可1个。

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作者:情报员