国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种晶圆传输腔室及半导体传输设备”的专利,授权公告号CN223872729U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆传输腔室及半导体传输设备,本申请实施例中,晶圆传输腔室能够与校准组件和换热组件适配安装,这样可以单独选择校准组件或换热组件安装于腔室本体,或者通过集成设计的校准组件和换热组件,实现校准功能或换热功能,即本申请实施例中晶圆传输腔室通过开启不同的功能组件,能够实现校准和换热两个功能,可以大大简化半导体传输设备的结构,为工艺腔室的布置提供空间,有利于提高半导体传输设备的生产能力。

天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目258次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息476条,此外企业还拥有行政许可14个。

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作者:情报员