昨天刷到央视拍的EXE:5200B光刻机,真家伙,180吨,四亿美元一台,要七架747才能运完。不是夸张,是实打实的铁疙瘩,不是科幻片里的道具。它干的事也实在:把光线打在硅片上,误差控制在0.5纳米——相当于头发丝直径的二十万分之一。

这机器不是刚造出来就满世界卖的。英特尔抢着第一个用,台积电反而拖着不用,三星砸了5000亿韩元还只能靠ASML派人蹲点调试。为啥?因为这机器太娇气,开机三分钟,调试三天,良率开头只有六成,比老款低三十个点。不是谁技术差,是现在拼的早不是能不能做出来,而是能不能天天稳定开工。

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光源这块,ASML用的是几十米长的CO₂激光器,中科院搞的是固态激光器,才五米,体积小了九成,效率目前3.42%,实验室能跑,但还没进产线。不是抄作业,是换条路走——绕开专利墙,自己搭新灶台。

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台积电财报里写得明白:2025年研发预算涨了37%,悄悄摸着NA=0.7的路线走。三星一边喊2nm量产,一边连EXE:5200B都没法全自主维护,还得靠ASML工程师驻厂。英特尔最急,不是为了快,是要让苹果和高通信它真能代工,不然客户全跑光。

晶瑞电材的光刻胶,国产占比已经七成;金宏气体的特种气体,八成五不用进口;长春光机所磨的镜片,过了ASML二级供应商认证——不是全替代,是关键环节不再卡死。

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AI芯片火了以后,大家发现,真正撑起市场的不是3nm手机芯,而是车规、工控、IoT这些7nm到28nm的“老制程”。2023年先进制程占全球产能31%,到2025年掉到22%。厂子不全往尖端挤了,有些事,慢一点反而更稳。

EXE:5200B还在运,还在装,还在调。但它的影子,没以前那么长了。

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