国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室的气路系统及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121463758A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请公开一种工艺腔室的气路系统及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。工艺腔室的气路系统包括至少两个输气管路，每个所述输气管路分别设置至少一个控制阀，各所述控制阀分别控制对应的所述输气管路的通断；至少两个所述控制阀被加热组件包裹而集成为阀组，以使所述加热组件同时加热对应所述阀组内的各所述控制阀。半导体工艺设备包括工艺腔室以及上述的气路系统，至少两个输气管路中的至少一者的出口端与工艺腔室连通。如此设置，气体流经控制阀时，控制阀的温度较高，避免出现冷点，防止气体在流通过程中遇冷液化，有利于气体持续处于蒸气状态并顺利被输送至工艺腔室中，保证输送至工艺腔室的气体量，有利于提升工艺效果。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1365次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员