国家知识产权局信息显示,重庆伟特森电子科技有限公司;无锡锡产微芯半导体有限公司申请一项名为“一种碳化硅晶圆减薄方法”的专利,公开号CN121463791A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明属于碳化硅加工技术领域,具体公开了一种碳化硅晶圆减薄方法,包括以下步骤:S1.将第一激光束的焦点对准碳化硅晶圆预设深度的剥离平面,剥离平面的碳化硅晶圆吸收激光能量,形成改性点,并通过激光照射扫描方式将各改性点连通形成改性层;S2.通过裂纹延展技术将改性点之间通过微裂纹串通,碳化硅晶圆沿改性层剥离,形成剥离面;S3.将碳化硅晶圆放置于高压腔体的腔室内,并通过第二激光束对剥离面以激光熔覆,形成熔融表面;S4.使用金刚石磨轮研磨熔融表面。本发明剥离后的碳化硅晶圆剥离面通过在高压环境下的激光熔融,熔融表面的粗糙度得到改善,从而有效降低剥离面对磨轮的损耗。
天眼查资料显示,重庆伟特森电子科技有限公司,成立于2018年,位于重庆市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本2850万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆伟特森电子科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息45条,此外企业还拥有行政许可1个。
无锡锡产微芯半导体有限公司,成立于2019年,位于无锡市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本309070.2287万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡锡产微芯半导体有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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