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高纯石英砂制备方法

高纯石英砂(High-purity quartz sand)是指SiO₂含量通常在99.9%以上,且杂质元素(如Fe、Al、Ti、K、Na、Ca、Mg等)含量极低(通常在ppm甚至ppb级别)的石英砂。它广泛应用于半导体、光伏、光纤、精密光学器件和高端玻璃等高科技产业。其制备方法主要包括原料选择、物理提纯、化学提纯以及高温处理等多个步骤。以下是主要的制备方法概述:

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一、原料选择

优质石英矿源:优先选用天然水晶或高纯度脉石英、石英岩等,其初始杂质含量较低。

避免含包裹体、云母、长石、黏土矿物等杂质多的原料

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二、物理提纯方法

1.破碎与筛分

将原矿破碎至合适粒度(通常为0.1–1 mm),便于后续处理。

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2.磁选

利用高梯度磁选机去除铁磁性矿物(如磁铁矿、赤铁矿等)。

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3.重选/擦洗

去除表面附着的黏土、氧化物等杂质。

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4.浮选

采用阴离子或阳离子捕收剂,去除长石、云母等硅酸盐杂质。

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三、化学提纯方法(关键步骤)

酸洗(Acid Leaching)

常用混合酸(如HCl + HF + HNO₃)浸泡石英砂,溶解金属氧化物及表面杂质。

HF可有效去除硅酸盐包裹体,但需严格控制用量以避免过度腐蚀石英晶格。

酸洗后需多次去离子水洗涤至中性。

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四、高温处理(煅烧与氯化)

1.高温煅烧(1200–1600°C)

使晶格中的杂质迁移至表面,便于后续酸洗去除。

可促进晶型转变(如α-石英 → β-石英),改善结构稳定性。

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2.氯化焙烧(Chlorination Roasting)

在高温(>1000°C)下通入Cl₂、HCl或CCl₄等氯化剂,使金属杂质生成挥发性氯化物(如FeCl₃、AlCl₃)逸出。

是获得超高纯石英(用于半导体级)的关键技术。

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五、超纯水清洗与干燥

使用18.2 MΩ·cm的超纯水反复清洗,防止二次污染。

在洁净环境中干燥(如氮气保护下烘干)。

注意事项

整个流程需在洁净车间中进行,避免环境粉尘污染。

所有设备应采用耐酸、无金属污染材质(如PTFE、石英、陶瓷)。

最终产品需通过ICP-MS、XRF、GDMS等手段检测杂质含量。