国家知识产权局信息显示,长春智冉光电科技有限公司申请一项名为“一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法”的专利,公开号CN121477452A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本发明提供了一种深紫外双波段可变NA检测物镜及方法,涉及光学技术领域,检测物镜包括补偿镜组、切换镜组、固定镜组和孔径可变光阑,通过采用波长更短的深紫外波长具有更高的分辨率,沿着光轴滑动补偿镜组、切换镜组和孔径可变光阑,实现不同波段的选择,提高缺陷的检测精度与发现几率,在不同波长切换后系统无需再次对焦,操作便捷,提高了工作效率,简化设备结构,检测物镜具体较大的成像靶面,有利于提高检测精度,通过改变孔径可变光阑的孔径大小改变检测物镜的数值孔径NA,实现不同波段不同NA的多模式工作,检测物镜的应用范围更加广泛,解决了现有检测物镜存在仅能进行单波长工作、设备复杂化以及存在检测误差的技术问题。

天眼查资料显示,长春智冉光电科技有限公司,成立于2021年,位于长春市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本649.955万人民币。通过天眼查大数据分析,长春智冉光电科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息35条,此外企业还拥有行政许可3个。

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作者:情报员