国家知识产权局信息显示，法博思（宁波）半导体设备有限公司申请一项名为“一种大曲翘晶圆缺陷检测装置及检测光路”的专利，公开号CN121476232A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆缺陷检测技术领域，且公开了一种大曲翘晶圆缺陷检测装置，包括分光棱镜和成像镜组，所述分光棱镜的入射面两侧分别设置光源和准直镜组，所述光源、分光棱镜和准直镜组依次设置于同一直线，通过移动的光源，使得光源能够接近或远离分光棱镜，从而调节检测光路中，输出光路的射入角度，从而调节光线的照射强度，通过将光源接近分光棱镜，可以使光源通过分光棱镜检测具有大曲翘凹面的晶圆时，照射于大曲翘凹面边缘的光线能够增强亮度，以便于成像镜组和电荷耦合器完整成像；通过将光源远离分光棱镜，可以使光源通过分光棱镜检测具有大曲翘凸面的晶圆时，照射于大曲翘凹面中央的光线能够降低亮度，以便于电荷耦合器完整成像。

天眼查资料显示，法博思（宁波）半导体设备有限公司，成立于2019年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本624.998万人民币。通过天眼查大数据分析，法博思（宁波）半导体设备有限公司参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可2个。

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作者：情报员