国家知识产权局信息显示,上海美维科技有限公司申请一项名为“基板表面薄膜的检测方法及检测基板”的专利,公开号CN121510936A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种基板表面薄膜的检测方法及检测基板,包括:待测样品包括基板、待测薄膜;确定第一保护层的第一目标沉积速率的饱和临界点的电子预设参数;电子预设参数包括电子束电压和电流的乘积;基于电子束电压和电流的乘积、电子透射深度确定电子束电压、电流;基于电子束电压、电流形成第一保护层;确定第二保护层的第二目标沉积速率的饱和临界点的离子预设参数;基于离子束电压和电流的乘积、待测样品的溅射损伤确定离子束电压、电流;基于离子束电压、电流形成第二保护层;切割目标区域内的第一、第二保护层、待测薄膜;确定检测切面中待测薄膜的检测数据,针对第一、第二保护层的材料计算参数,增强沉积参数的针对性和精确性。
天眼查资料显示,上海美维科技有限公司,成立于1999年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本61059.7024万人民币。通过天眼查大数据分析,上海美维科技有限公司参与招投标项目276次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息211条,此外企业还拥有行政许可97个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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