国家知识产权局信息显示,北京博视像元科技有限公司申请一项名为“一种用于评估不同光刻图形对准精确的方法及量测相机”的专利,公开号CN121500700A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开一种用于评估不同光刻图形对准精确的方法及量测相机,涉及光刻对准的量测相机领域,所述方法包括:获取包含至少两个不同工艺层对准标记的多模式光学测量图像;根据光学测量图像的形成过程建立一个参数化成像反演模型;以获取到的多模式光学测量图像为优化目标,执行参数化成像反演模型的迭代过程,得到最优的联合参数集;根据最优联合参数集确定不同工艺层之间的套刻误差,并将其作为评估结果进行输出。该方法显著降低了对标记图像质量的依赖,提高了套刻误差测量的准确性与鲁棒性,适用于先进工艺中复杂波动的实时监控与评估,为实现全自动化、高精度的光刻对准量测提供了可靠技术基础。
天眼查资料显示,北京博视像元科技有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1130.8159万人民币。通过天眼查大数据分析,北京博视像元科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息49条,此外企业还拥有行政许可3个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴