国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“一种半导体结构及形成方法”的专利,公开号CN121510611A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本公开实施例提供了一种半导体结构及形成方法,其中,方法,包括:提供形成有鳍部的基底,位于鳍部上的沟道材料叠层和位于沟道材料叠层上的多个源漏结构;去除相邻源漏结构之间暴露的部分沟道材料叠层,以剩余的沟道材料叠层为沟道叠层,以剩余的牺牲材料层为牺牲层,以剩余的沟道材料层为沟道层,沟道叠层在鳍部延伸方向上凸出于源漏结构;去除沟道叠层中的部分牺牲层;在沟道层的侧壁上形成位于沟道层的顶角和底角处的沟道补充结构;采用刻蚀工艺去除沟道补充结构和沟道层的部分侧壁,且刻蚀工艺对沟道补充结构的刻蚀速率等于对沟道层的刻蚀速率;在所述第二容纳空间形成内侧墙。本公开实施例提升了器件的性能。
天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目129次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可447个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴