国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“射频引入组件、承载舟支撑装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121496373A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请公开了一种射频引入组件、承载舟支撑装置及半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。射频引入组件用于向晶片承载舟引入射频功率，射频引入组件包括电极环套和第一引入组件，电极环套用于套设于支撑件上，支撑件用于支撑晶片承载舟，且电极环套与第一引入组件的第一端电连接。该方案中，电极环套可套设在支撑件上并相对支撑件移动，使得射频引入组件可抽拉地设在反应腔室内，这样，射频引入组件可从反应腔室的尾端引入反应腔室内，在对射频引入组件进行维护更换时，无需对反应腔室降温和暂停自动化设备及无需维护人员进入到机台内部进行开腔作业，可简化射频引入组件的维护更换操作和缩短维护更换时间，提高维护操作的安全性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1380次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员