国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司取得一项名为“光阑调节装置及半导体检测设备”的专利,授权公告号CN223910828U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请公开了一种光阑调节装置及半导体检测设备,该光阑调节装置包括多级位移调节单元、多级偏移调节单元和转接座;所述位移调节单元包括相互固定连接的位移座和位移驱动件,相邻两级所述位移调节单元传动配合;所述偏移调节单元包括相互固定连接的偏移座和偏移驱动件,相邻两级所述偏移调节单元传动配合;所述转接座在第一方向与末级所述位移调节单元传动配合,在第二方向与首级所述偏移调节单元传动配合,所述第一方向为所述光阑调节装置的长度方向,所述第二方向与所述第一方向相交设置。光阑调节装置可以在两个方向上均对光阑片进行多级线性位移调节,从而提高对光阑片的调节精度,减小光阑孔与电子束流的同心度误差,保证检测时的成像质量。
天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息156条,专利信息401条,此外企业还拥有行政许可18个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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