国家知识产权局信息显示,优赛米半导体科技(无锡)有限公司申请一项名为“基于加速度传感器的扰振测试系统及其测试方法”的专利,公开号CN121510904A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及智能传感器技术领域,具体公开了基于加速度传感器的扰振测试系统及其测试方法,包括:传感器部署模块、晶圆传输全流程模拟模块、控制平台扰振分析模块、扰振测试风险评估模块以及评估结果输出模块,通过将加速度传感器嵌入空白模拟晶圆内部,构成晶圆传感器,同步采集设备在传输加工中的三轴振动数据,基于设备在传输加工中的三轴振动数据和设备空载运行的振动数据,对扰振监测进行基准值校准,并对晶圆传输进行全流程模拟,在晶圆传输的全流程模拟中,进行全流程扰振监测,并进行设备扰振测试风险评估,精准识别出设备在传输加工过程中产生的异常振动,确保设备运行的安全与稳定。
天眼查资料显示,优赛米半导体科技(无锡)有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,优赛米半导体科技(无锡)有限公司专利信息2条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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