国家知识产权局信息显示,苏州惟光探真科技有限公司申请一项名为“自动化半导体晶圆拉曼光谱测试系统”的专利,公开号CN121499450A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本申请涉及一种自动化半导体晶圆拉曼光谱测试系统,包括:光处理组件,光处理组件包括光路模组及镜头模组,镜头模组接入光路模组,镜头模组靠近晶圆样品设置;检测仪和激光发生器,检测仪和激光发生器一一对应接入光路模组,激光发生器用以提供光束;其中,光路模组包括拉曼滤光片、分束片和离焦量传感器,分束片位于拉曼滤光片和镜头模组之间,光束依次经过拉曼滤光片、分束片和镜头模组形成一检测光路;样品能够反射透过镜头模组的光束,反射的光束透过镜头模组返回检测光路;光束在通过分束片时发散,一部分光束导向镜头模组或拉曼滤光片,另一部分光束导向离焦量传感器。减少了额外的测量光束简化光路,提高了光谱采集的信号稳定性和可重复性

天眼查资料显示,苏州惟光探真科技有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本333.3333万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州惟光探真科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息3条,此外企业还拥有行政许可1个。

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作者:情报员