国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“补偿由多馈电系统中的匹配电路引起的参数差异”的专利，公开号CN121528837A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，在一个实施例中，本公开涉及一种用于向具有多个功率信号输入的等离子体室提供能量的系统。电源将输出信号传输到匹配电路。每个匹配电路提供不同的匹配位置。存储器对于每个匹配电路的每个匹配位置并且对于每个输出信号存储匹配电路的输出处的输出信号的参数(例如功率或相位)的参数差异数据。对于每个匹配电路及其相应的输出信号，控制电路使电源基于参数差异数据来改变参数，参数的改变防止或减少参数的期望值和参数的实际值之间的预期差异。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员