国家知识产权局信息显示,文天精策仪器科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种高温键合热管理系统”的专利,公开号CN121548245A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种高温键合热管理系统,包括水冷系统、高温键合机和操控平台,其中高温键合机包括设备柜与位于设备柜上端面的键合仓,所述键合仓的内部设有上加热盘和下加热盘;包括界面涂刮系统,所述界面涂刮系统包括安装于所述上端面的摆臂和界面剂供给组件,所述摆臂的下端转动连接于上端面,摆臂的水平端设有可转动的喷涂盘和可转动的清理盘,且喷涂盘和清理盘平行;所述喷涂盘的外侧面均匀分布多个喷孔,所有的喷孔与界面剂供给组件连通。本发明中的界面剂具备高导热特性,界面剂将均匀的热量传递至晶圆,晶圆受热均匀,有利于突破晶圆受热不均匀的技术瓶颈。
天眼查资料显示,文天精策仪器科技(苏州)有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,文天精策仪器科技(苏州)有限公司参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息24条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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