国家知识产权局信息显示,上海季丰技术有限公司;深圳季丰检测技术有限公司申请一项名为“一种光刻图形化晶圆的TEM样品制备方法”的专利,公开号CN121541411A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体技术领域,提供了一种光刻图形化晶圆的TEM样品制备方法。该方法包括:在光刻图形化晶圆的待处理TEM样品的表面上制备一层氧化层,得到第一TEM样品;对第一TEM样品的表面进行液态胶灌注及室温固化处理,以在氧化层的表面上形成一层固态保护胶层,得到第二TEM样品,其中,固态保护胶层覆盖氧化层;对第二TEM样品进行减薄或提取处理,得到目标TEM样品。本申请整个制样过程操作简单,在常规实验室内即可完成,无需复杂或昂贵的低温设备、超高真空设备等,成本较低,且能有效在样品制备和转移阶段为敏感材料层提供物理屏障保护,可最大限度减少离子束和电子束辐照对样品原始结构的损伤,提高TEM观测的保真度。
天眼查资料显示,上海季丰技术有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海季丰技术有限公司专利信息19条,此外企业还拥有行政许可5个。
深圳季丰检测技术有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳季丰检测技术有限公司参与招投标项目1次,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可11个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴