国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件的制造方法”的专利,公开号CN121548071A,申请日期为2026年1月。

专利摘要显示,本申请提供了一种半导体器件的制造方法,属于半导体技术领域,所述制备方法包括:提供衬底,衬底内形成有沟槽,衬底表面、沟槽侧壁及底壁依次形成有第一氧化层和第二氧化层,沟槽内填充有屏蔽栅材料层,第二氧化层及屏蔽栅材料层上覆盖有掩模材料层;对掩模材料层进行图形化形成第一开口,并回刻部分屏蔽栅材料层以形成屏蔽栅;形成第三氧化层,屏蔽栅上第三氧化层的顶壁低于衬底表面;移除第三氧化层,并回刻部分第二氧化层,以在沟槽内形成第二开口;形成第四氧化层填充满第二开口,回刻部分第四氧化层及第一氧化层,及去除所述掩模材料层,沟槽内剩余的第四氧化层作为屏蔽栅上介质层。本申请可提高半导体器件的性能和良率。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目638次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1632条,此外企业还拥有行政许可22个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员