国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“全包围栅极晶体管及其形成方法”的专利,公开号CN121548063A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本公开实施例提供一种全包围栅极晶体管及其形成方法,所述方法包括:提供包括衬底、凸立于衬底的分立的鳍部以及位于鳍部上的隔离牺牲结构,位于隔离牺牲结构上的沟道叠层的基底;在鳍部之间形成沟槽隔离层和伪鳍部,沟槽隔离层覆盖隔离牺牲结构的侧壁和伪鳍部的部分侧壁,且暴露沟道叠层的侧壁;形成跨过沟道叠层的伪栅结构;去除伪栅结构暴露的部分厚度的沟槽隔离层,暴露隔离牺牲结构,以剩余的沟槽隔离层作为浅沟槽隔离结构;去除伪栅结构侧壁暴露的隔离牺牲结构,形成第一容纳空间,其中,伪栅结构基于伪鳍部被固定在基底上;在第一容纳空间内形成底部沟道隔离结构;在伪栅结构占据的空间内形成栅极结构,提升全包围栅极晶体管的性能。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目129次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可447个。

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作者:情报员