打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片

案例：电子行业危废暂存间氟化物处理

项目背景

某半导体工厂危废间存放蚀刻废液、废显影液等含氟废物，废气中氟化氢（HF）浓度超标。需在原有酸雾净化系统基础上增加氟化物专项处理单元，满足《电子工业污染物排放标准》（GB39731-2020）氟化物≤5mg/m³要求。

废气成分及来源

主要污染物为氟化氢（20-50mg/m³）、硝酸雾及硅烷衍生物，废气具有腐蚀性强、含尘量高的特点。系统设计风量20000m³/h，温度常温。

处理工艺流程

创新采用"旋风除尘+两级碱洗+钙法深度处理"工艺：

旋风除尘器

：去除废气中90%以上颗粒物，防止后续设备堵塞。

一级碱洗塔

：5%NaOH溶液喷淋，主反应区pH值维持10-11，去除大部分HF。

二级钙法反应塔

：添加氯化钙溶液（Ca²⁺浓度8%），生成CaF₂沉淀，配套板框压滤机处理污泥。

除雾器

：PP材质丝网除雾，液滴携带量＜50mg/m³。

最终效果

氟化物排放浓度稳定在2.3-3.8mg/m³，钙法单元氟资源回收率达75%，年回收氟化钙污泥42吨。设备采用PPH材质，使用寿命预计超10年。