国家知识产权局信息显示,北京北方华创真空技术有限公司申请一项名为“一种制备碳化硅晶体的装置、系统及方法”的专利,公开号CN121575474A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及碳化硅晶体制备技术领域,具体涉及一种制备碳化硅晶体的装置、系统及方法。本发明采用“上感应、下电阻”的混合加热结构,即非均匀匝距感应线圈加热上部籽晶区,可独立控制的多区电阻加热组件加热下部原料区,解决了现有加热方式难以兼顾低能耗与原料高转化率的问题。本发明还包括中央控制单元及传感监测单元,中央控制单元基于传感监测单元实时获取的气相组分信息和生长界面图像,执行闭环调控:当气相硅碳比偏离时,自动调整相应加热区功率进行补偿;当监测到初期缺陷时,施加功率脉冲产生修正性气相流进行抑制或修复。本发明通过协同加热与智能闭环控制,提升了晶体制备的成品率与晶体质量。
天眼查资料显示,北京北方华创真空技术有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6710.49万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创真空技术有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目372次,专利信息310条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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