国家知识产权局信息显示,宜宾英发德耀科技有限公司申请一项名为“一种链式去BSG机台用酸槽结构及使用方法”的专利,公开号CN121586413A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种链式去BSG机台酸槽结构及使用方法,涉及硅片清洗技术领域,包括滚轮,所述滚轮底部设有第一水膜区、第一酸槽、第二水膜区、第二酸槽、水槽和烘干槽,各槽体之间设有溢流区域,所述溢流区域包括第一溢流槽、第二前溢流槽、第二后溢流槽、第三前溢流槽和第三后溢流槽,所述第二前溢流槽和第二后溢流槽内部设有导水组件,所述导水组件包括梯形支架和平直亚克力板,且梯形支架对称设置于第二酸槽两侧并固定在对应溢流槽内部,所述平直亚克力板固定于梯形支架上且呈倾斜设置。本发明仅需对特定溢流槽进行局部改装,只需拆下溢流区域滚轮即可进行安装操作,改装结构为亚克力材质,不产生较大支出,且能改善酸槽溶液稀释程度。

天眼查资料显示,宜宾英发德耀科技有限公司,成立于2022年,位于宜宾市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本168750万人民币。通过天眼查大数据分析,宜宾英发德耀科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目68次,专利信息121条,此外企业还拥有行政许可267个。

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作者:情报员