国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“M0A层金属互连线线端开路OPC方法及器件”的专利,公开号CN121604810A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种M0A层金属互连线线端开路OPC方法,包括以下步骤:S1,识别修整对象,在M0A层版图中识别被两根金属互连线长线夹持的孤立金属互连线的线端图形;S2,对识别出的线端图形执行OPC re‑target操作,通过改变线端图形的几何形状和/或尺寸以增加线端与下层连接结构的有效覆盖面积,补偿刻蚀负载导致的线端回退;S3,对re‑target后的线端图形进行设计规则检查和掩模版规则检查。本发明能通过三种re‑target操作方式,彻底解决M0A线端开路缺陷,消除因刻蚀负载导致的特定拓扑结构开路失效,使该类型图形的电学连接失效降至0。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2095次,专利信息2753条,此外企业还拥有行政许可397个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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