国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种用于等离子体设备的辅助点火装置和工艺腔室”的专利，公开号CN121601525A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明实施例提供了一种用于等离子体设备的辅助点火装置和工艺腔室，所述辅助点火装置包括：电子束产生装置，与所述进气组件结构连通，用于在通电时，产生电子束，所述电子束通过进气组件结构进入所述等离子体设备的等离子腔室中；真空腔室，包围所述电子束产生装置，固定于所述腔室外壁和所述进气组件结构之间，用于在所述等离子体腔室中密封所述电子束产生装置。通过本发明实施例可以提高等离子体设备的点火速度和保证点火的稳定性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1389次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员