截至2026年3月5日09:36，科创半导体ETF（588170）上涨2.16%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨2.59%。

热门个股方面，富创精密上涨4.70%，新益昌上涨4.39%，和林微纳上涨4.21%，兴福电子，晶升股份等个股跟涨。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手1.04%，成交9024.14万元；半导体设备ETF华夏盘中换手0.93%，成交2464.86万元。

规模方面，科创半导体ETF近1月规模增长6.13亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达26.05亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出4807.34万元。拉长时间看，近5个交易日内有4日资金净流入，合计“吸金”8.69亿元，日均净流入达1.74亿元；半导体设备ETF华夏最新资金净流入1860.16万元。拉长时间看，近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”5079.36万元，日均净流入达1015.87万元。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

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