国家知识产权局信息显示，致真精密设备（杭州）有限公司申请一项名为“一种晶圆除气装置”的专利，公开号CN121620134A，申请日期为2026年2月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆除气装置，属于晶圆加工技术领域。装置包括支架、第一箱体、水冷法兰组件、加热组件、水冷台组件、互联颈管和分子泵；第一箱体放置于支架上；水冷法兰组件可拆卸的连接第一箱体；加热组件抵接水冷法兰组件，用于将产生的热量通过水冷法兰组件传递至第一箱体的内部空腔；水冷台组件可拆卸的连接第一箱体，用于支撑和冷却第一箱体内部空腔中的晶圆；互联颈管连通第一箱体的内部空腔；分子泵通过互联颈管连通第一箱体的内部空腔，用于维持第一箱体的内部空腔处于真空状态。本发明采用上述装置，能够提高晶圆所在环境温度均匀性和温度变化速度，以增强晶圆除气和冷却效果。

天眼查资料显示，致真精密设备（杭州）有限公司，成立于2024年，位于杭州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，致真精密设备（杭州）有限公司参与招投标项目4次，专利信息3条。

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作者：情报员