国家知识产权局信息显示,珠海市能动科技光学产业有限公司申请一项名为“用于玻璃基板的干膜光刻胶的智能制备监测方法及系统”的专利,公开号CN121656659A,申请日期为2026年2月。

专利摘要显示,本发明提供用于玻璃基板的干膜光刻胶的智能制备监测方法及系统,通过分布式微波谐振器阵列在传送带中构建探测区域,当玻璃基板完全进入探测区域时,探测区域向玻璃基板施加介电梯度场,并通过多频段连续波扫描模式获取干膜光刻胶的散射参数,将散射参数输入至干膜光刻胶计算引擎,获取干膜光刻胶的介电属性分布图,构建本构关系库,通过本构关系库将介电属性分布图转化为干膜光刻胶表征数据,并生成工艺数字孪生体,通过干膜光刻胶表征数据,并结合工艺数字孪生体进行监控,通过这种技术方案,改善干膜光刻胶制备过程中监测滞后、精度不足的问题,从而提升干膜光刻胶的制备质量。

天眼查资料显示,珠海市能动科技光学产业有限公司,成立于2011年,位于珠海市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本18577.658363万。通过天眼查大数据分析,珠海市能动科技光学产业有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息30条,此外企业还拥有行政许可39个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员