白光干涉vs共聚焦：不是取代而是互补，微观形貌测量的技术协同

白光干涉仪和共聚焦显微镜的二合一测量，主要是通过打造复合型光学3D表面轮廓仪（如SuperView WT3000机型），在硬件层面上将两套光学系统集成在同一个自动化平台上实现。

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实现二合一融合后，SuperView WT3000设备依然能够保持高单项测试精度。例如，当设备切换至白光干涉模式时，其性能指标依然强悍：

• 形貌重复性(STR)达到 0.1nm。
• 粗糙度RMS重复性达到 0.01nm。
• 台阶测量关联精度：准确度为 0.5%，重复性为 0.1% (1σ)。

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1.白光干涉仪：偏向平、滑、透的极限精度，纵向分辨率高达。

0.1nm的纵向分辨率是什么概念呢？就是哪怕物镜倍率低，它的绝对测量能力也摆在那，这在测大面积超光滑表面时简直是作弊神器。

2.共聚焦显微镜：擅长陡、糙、暗的复杂还原，最大可测倾角达，对于低反射率、大角度斜坡（如太阳能电池金字塔结构）更具优势。

3.二合一优势：中图仪器的SuperView WT3000机型将两者集成，通过5孔电动物镜塔台实现无缝切换，一次装夹即可搞定复杂样品的全面3D形貌表征。

结语：不做选型小白，两手都要硬！

说白了，白光干涉和共聚焦不是“谁取代谁”的关系，而是“绝佳拍档”。如果你测的是超光滑的晶圆或者镜片，直接上白光，精度稳如泰山。如果你测的是陡峭的金字塔绒面或者金属断口，共聚焦才是永远的神。