国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请一项名为“双重光刻模型的构建方法及相关产品”的专利,公开号CN121704138A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供了一种双重光刻模型的构建方法及相关产品。双重光刻模型的构建方法包括构建一重光刻刻蚀模型;构建二重光刻模型;对一重刻蚀仿真图和二重显影仿真图进行融合,得到融合仿真图;构建二重刻蚀模型,二重刻蚀模型用于根据融合仿真图、一重刻蚀仿真图和二重显影仿真图得到刻蚀仿真图。本构建方法使得二重刻蚀模型在仿真过程充分中考虑了融合仿真图、一重刻蚀仿真图和二重显影仿真图,使得最终得到的刻蚀仿真图能够准确反映LE1工艺对LE2工艺的二重刻蚀仿真图的影响,并且能够准确反映LE2工艺对由LE1工艺的一重刻蚀仿真图的影响,提高了LELE工艺模型的精度,有效促进了双重光刻技术的进一步应用与推广。

天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目49次,财产线索方面有商标信息156条,专利信息410条,此外企业还拥有行政许可18个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员