截至2026年3月25日09:34，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.11%，成分股拓荆科技上涨6.32%，江丰电子上涨5.47%，珂玛科技上涨4.64%，上海新阳，有研新材等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)高开高走上涨3.29%。

消息面方面，深圳市工业和信息化局近日印发《深圳市加快推进人工智能服务器产业链高质量发展行动计划（2026—2028年）》，计划提出，支持国产GPU、NPU、CPU、DPU等核心芯片产品加快应用和迭代，形成完整产业生态，鼓励基于RISC-V架构的高性能计算芯片研发与产业化，发展高速以太网交换芯片、PCIe/CXL交换芯片等，推动技术迭代与性能升级。支持第三代半导体功率器件研发与应用，支持开发场景化专用电源方案，前瞻布局下一代功率半导体技术。

半导体设备行业正迎来“需求扩容+国产替代”双重驱动的黄金窗口期。山西证券指出，AI算力爆发与国产AIDC建设加速释放强劲算力需求，叠加海外出口管制持续加码，倒逼晶圆制造与封装环节加速突破；本土晶圆厂7nm及以下先进制程产能加速爬坡，存储厂商亦大幅扩张产能，带动设备采购需求显著提升。与此同时，先进封装技术升级（如Chiplet、HBM）进一步拉动封测设备需求，相关厂商订单外溢明显，为国产设备厂商提供广阔导入空间。

数据显示，截至2026年2月27日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、江丰电子，前十大权重股合计占比63.83%。

资金流入方面，拉长时间看，截至2026年3月24日，半导体设备ETF万家近17个交易日内合计“吸金”3362.73万元。数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF万家连续3天获杠杆资金净买入，最高单日获得395.44万元净买入，最新融资余额达1255.07万元。

费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

半导体设备ETF万家（159327）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。

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