国家知识产权局信息显示，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种基于分离式键合吸盘的晶背对位阳极键合方法”的专利，公开号CN121729130A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种基于分离式键合吸盘的晶背对位阳极键合方法，涉及晶圆键合技术领域。分离式键合吸盘包括承载件和环形吸附件，阳极键合方法包括：提供一产品晶圆和一玻璃晶圆；利用吸附机构固定玻璃晶圆、环形吸附件固定吸附产品晶圆，并通过光学对位系统使得玻璃晶圆的键合面与产品晶圆的晶背实现对位；将完成对位的产品晶圆和玻璃晶圆整体转移至键合机台的键合位上；控制玻璃晶圆朝向产品晶圆移动，对产品晶圆和玻璃晶圆施加预设键合条件，使得产品晶圆的晶背与玻璃晶圆的键合面发生阳极键合。本申请的阳极键合方法能够在不影响对位精度和键合强度的前提下，有效降低晶背对位阳极键合过程中产品晶圆晶面金属的压伤风险。

天眼查资料显示，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司，成立于2011年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本48800万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目517次，财产线索方面有商标信息29条，专利信息100条，此外企业还拥有行政许可8个。

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作者：情报员