国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制作方法”的专利,公开号CN121728983A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体结构的制作方法,包括以下步骤:提供一硅衬底,对硅衬底进行预清洁;采用低压化学气相沉积法形成高温氧化硅层于硅衬底上;形成热氧化层于硅衬底与高温氧化硅层的界面处,其中,在形成热氧化层的过程中使用了氢气,利用H与HTO薄膜中的氯反应生成HCl,降低了薄膜中的氯残留量,有利于提升器件的可靠性和性能。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目181次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息999条,此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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