国家知识产权局信息显示,纳糯三维科技控股有限公司申请一项名为“用于制备三维结构的激光光刻装置及其操作方法”的专利,公开号CN121729316A,申请日期为2024年5月。

专利摘要显示,本发明涉及用于在光刻材料(12)中制备三维结构的激光光刻装置(10),该装置具有:用于接收光刻材料(12)的光刻材料承载部(14),用于产生多个激光写入光束(26)的激光光束源(15),用于将激光写入光束(26)分别聚焦至分配给相应的激光写入光束(26)的焦点中的透镜(70),以及用于移动焦点的扫描装置(78)。设置了波导组件(54),该波导组件包括多个波导(56),用于引导激光写入光束(26),其中,每个激光写入光束(26)被分配给相应的波导(56),并且波导(56)布置在激光光束源(15)与透镜(70)之间的光路中。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员