国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“一种半导体器件图形的光学邻近效应修正方法”的专利,公开号CN121742113A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件图形的光学邻近效应修正方法,包括以下步骤:S1.获取芯片图形的设计版图并进行OPC修正,得到第一修正版图;S2.从所述设计版图中识别出目标图形;所述目标图形包括至少一个凹槽,所述凹槽具有两个270度拐角及连接两个拐角的直线线段,所述直线线段的宽度s满足2a≤s<3a,其中,a为OPC修正的最小分段长度;S3.对所述目标图形执行差异化OPC修正策略:在所述第一修正版图中,对所述直线线段不进行分段,对所述目标图形的其余边按照原预设分段规则进行分段,进行第二次OPC修正。通过筛选宽度s∈[2a,3a)、双内凹270°拐角的目标凹槽,对其合并为单段并重新计算修正量,优化特定凹槽的OPC间距,显著改善MRC问题,保障光刻工艺稳定与器件成品率。

天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目933次,专利信息270条,此外企业还拥有行政许可12个。

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作者:情报员