国家知识产权局信息显示,青岛华芯晶电科技有限公司;青岛芯微半导体科技有限公司申请一项名为“用于蓝宝石光学窗口的金属网栅曝光系统及方法”的专利,公开号CN121763675A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明涉及光学窗口技术领域,尤其涉及用于蓝宝石光学窗口的金属网栅曝光系统及方法,该方法的步骤包括:获取蓝宝石光学窗口的基底特征数据、光刻胶特征数据、曝光光源特征数据以及金属网栅的图形结构特征数据;进行驻波效应预测,确定驻波效应影响下的曝光剂量波动特征参数;分析金属网栅图形结构与驻波效应的耦合程度,确定金属网栅图形结构影响下的驻波耦合特征参数;确定蓝宝石光学窗口不同区域的曝光剂量波动范围;基于曝光剂量波动范围与光刻胶曝光剂量工艺窗口的匹配关系,进行金属网栅曝光质量预警。本发明通过量化金属网栅图形结构引起的驻波放大效应和周期共振效应,提升了金属网栅曝光的工艺稳定性和可靠性。
天眼查资料显示,青岛华芯晶电科技有限公司,成立于2011年,位于青岛市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本7848.0954万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛华芯晶电科技有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息136条,此外企业还拥有行政许可22个。
青岛芯微半导体科技有限公司,成立于2022年,位于青岛市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛芯微半导体科技有限公司财产线索方面有商标信息1条,专利信息17条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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