国家知识产权局信息显示,武汉帝尔激光科技股份有限公司申请一项名为“一种微孔加工方法和基板”的专利,公开号CN121793770A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本申请提供一种微孔加工方法和基板,涉及半导体技术领域,方法通过利用负压环境浸润待加工基板的空隙区,得到预浸润基板,并且利用腐蚀液腐蚀预浸润基板的空隙区,得到具有微孔的基板。由此,能够在腐蚀过程中,腐蚀液可以利用空隙区内留有的浸润液快速扩散,加速腐蚀液进入纳米缝隙内的速度,从而弱化纳米缝隙内外腐蚀速率的差异,经过一定时间的腐蚀后使得空隙区形成微孔,从而得到具备微孔的基板。这样在腐蚀过程中,更容易控制微孔的锥度和腰孔比,可以通过控制微孔开口处的孔径,获得与预期相符的孔结构。

天眼查资料显示,武汉帝尔激光科技股份有限公司,成立于2008年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本27356.225万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉帝尔激光科技股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目46次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息525条,此外企业还拥有行政许可49个。

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作者:情报员