国家知识产权局信息显示，青岛芯笙微纳电子科技有限公司申请一项名为“一种低检测下限的MEMS流量传感器及其制作方法”的专利，公开号CN121783290A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及一种低检测下限的MEMS流量传感器及其制作方法，属于流量测量技术领域。流量传感器由下到上依次包括衬底、支撑层、功能层和保护层，保护层顶部靠近气流入口的一侧设置有微型凸起；衬底内设置有隔热腔体；功能层包括加热元件和对称分布在加热元件两侧的上游感温元件和下游感温元件。本发明通过在气流入口一侧设置微型凸起，一方面能有效梳理微流量下的局部流场，抑制扰动以降低噪声；另一方面，其局部适度阻挡可在感温元件前端形成均匀缓流区，促进充分换热以提升灵敏度，进而显著降低传感器检测下限。此外，本发明基于成熟的MEMS微加工工艺制备，可控性强、良率高，适合批量生产。

天眼查资料显示，青岛芯笙微纳电子科技有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1089.5217万。通过天眼查大数据分析，青岛芯笙微纳电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可14个。

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作者：情报员